顕微鏡ヘッド移動領域
800 X 800 X 300mm。
大型ワークをナノオーダー・超深度で
ダイレクトに観察可能。
| 対応サンプルサイズ | W800mm X L800mm X H300mm以下 |
|---|---|
| Ｘ軸ステージ | 移動距離800mm、5相ステッピングモータ、繰返し位置決め精度±0.01mm |
| Ｙ軸ステージ | 移動距離800mm、5相ステッピングモータ、繰返し位置決め精度±0.01mm |
| Ｚ軸ステージ | 移動距離300mm、定位置回転ハンドルによる手動操作、移動距離デジタルメータ表示 |
| 除振台 | 自動レベリング機能付き空気バネ式光学除振台 レベリング方式：自動レベリング（0.55Mpa〜0.7Mpaの圧縮空気または窒素ガスで作動） 除振台定盤寸法：1500mm X 1200mm M6 X 50mmピッチマトリクス |
| レーザー顕微鏡 | キーエンス 超深度形状測定顕微鏡 測定部VK-8510 コントローラ部VK-8550 |
| パソコン | BM/PC互換機 CPUペンティアムIV1.6GHz（標準品） |
| ディスプレイ | 15型TFT（パソコン用）15型CRT（超深度形状測定顕微鏡用） |
| 外形寸法・質量 | ステージ本体 W1600mm X D1500mm X H1950mm、600kg |
| 電源 | 単相100V/50Hz 電源容量1.2KVA |
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