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- 温度コントローラに使用されている温度調整器は、19ビットＡＤ変換によるフルスケール1/500,000の分解能で温度検出をし、0.01℃の測定分解能を誇り、P.I.D制御による高精度な温度制御を可能とします。
- 高精度温度コントローラにより、試料ステージの温度は0.3℃以内に保持されます。
- 恒温チャンバの試料ステージには、熱歪を最小限に抑えた純銀材を使用し、試料ステージをチャンバに組込み後、二次加工による機械精度の平行度を確保しています。
- 液体窒素を使用することにより、試料ステージを０℃以下にすることも可能となります
恒温チャンバ
温度コントローラ
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