LS100シリーズ仕様 | LS100-RT70 | LS100-MT70 | LS100-MT100 | LS100-MT100 | |
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恒温チャンバ | 最大試料寸法 | 70mm角 X H5mm | 70mm角 X H5mm | 100mm角 X H10mm | 100mm角 X H10mm |
測定温度範囲 | 室温〜+350℃ | -70℃〜+350℃ | 室温〜+300℃ | -50℃〜+300℃ | |
温度保持精度 | ±0.3℃以内(試料台温度) | ±0.5℃以内(試料台温度) | |||
ステージ部 | X軸ステージ | ストローク:100mm(1µm/Step) | |||
Y軸ステージ | ストローク:100mm(1µm/Step) | ||||
Z軸ステージ | ストローク:50mm(手動タイプ) | ||||
回転ステージ | 微動範囲:±5°(手動タイプ) | 無 | |||
測定部 | 非接触変位計 | レーザーフォーカス変位計(半導体レーザー:クラス1) | |||
測定範囲 | ±1.0mm | ||||
測定分解能 | 0.2µm | ||||
観察モニタ | 9インチ白黒モニタ(センサヘッド内臓CCDカメラ:倍率90倍) | ||||
制御部 | パソコン | DOS/V互換機(17インチディスプレイ) | |||
各種コントローラ | 温度・流量コントローラ,変位計コントローラ,ステージコントローラ | ||||
温度取り込み | 温度取り込み3点 | ||||
ソフトウエア | 構成 | 自動計測ソフト(LT8100+)及び画像解析ソフト(WinROOF) | |||
自動計測ソフト | Surface(面),CrossLine(対角線),Interval測定機能 | ||||
画像処理ソフト | 濃淡3D表示,OpenGL表示機能他,各種画像処理機能 | ||||
解析機能 | 測定断面の高さ,幅,傾き補正,平面補正,オフセットなど | ||||
標準装備 | 除振台(空気ばね式ディスクタイプ) | ||||
オプション | 水循環システム | 10Lタンクとミニポンプの組み合わせ |
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