| LS150シリーズ仕様 | LS150-RT140 | LS150-MT140 | |
|---|---|---|---|
| 恒温チャンバ | 最大試料寸法 | 140mm角 X H15mm | 140mm角 X H15mm |
| 測定温度範囲 | 室温〜+250℃ | -40℃〜+250℃ | |
| 温度保持精度 | ±0.5℃以内（試料台温度） | ||
| ステージ部 | X軸ステージ | ストローク：150mm（1µm/Step） | |
| Y軸ステージ | ストローク：150mm（1µm/Step） | ||
| Z軸ステージ | ストローク：50mm（手動タイプ） | ||
| 回転ステージ | 無 | ||
| 測定部 | 非接触変位計 | レーザーフォーカス変位計（半導体レーザー：クラス1） | |
| 測定範囲 | ±1.0mm | ||
| 測定分解能 | 0.2µm | ||
| 観察モニタ | 9インチ白黒モニタ（センサヘッド内臓CCDカメラ：倍率90倍) | ||
| 制御部 | パソコン | DOS/V互換機（17インチディスプレイ) | |
| 各種コントローラ | 温度・流量コントローラ，変位計コントローラ，ステージコントローラ | ||
| 温度取り込み | 温度取り込み3点 | ||
| ソフトウエア | 構成 | 自動計測ソフト（LT8100+）及び画像解析ソフト（WinROOF） | |
| 自動計測ソフト | Surface（面），CrossLine（対角線)，Interval測定機能 | ||
| 画像処理ソフト | 濃淡3D表示，OpenGL表示機能他，各種画像処理機能 | ||
| 解析機能 | 測定断面の高さ，幅，傾き補正，平面補正，オフセットなど | ||
| 標準装備 | 除振台（空気ばね式ディスクタイプ） | ||
| オプション | 水循環システム | 10Lタンクとミニポンプの組み合わせ | |
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