測定条件の入力画面上では、測定モードの設定、測定条件入力、レーザー変位計の設定、パルスステージコントロール、恒温チャンバーの温度パターン設定などを操作することができます。
X-Yステージを走査しながら測定を行うことにより、サンプル表面を測定することができます。
サンプル上の2点間の対角線上を測定することにより、断面の形状を測定することができます。
レーザー変位計を固定して、任意の時間間隔変位量を取り込みます。
測定と同期して恒温チャンバの温度を変化させることにより、経時変化を測定できます。
測定結果を基に粗さ解析、FFT解析、LABELING、平面補正など行うことができます。
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