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Hitachi

株式会社日立テクノロジーアンドサービス

微細加工技術

材質：ステンレス（ＳＵＳ３１６）

微細加工技術

  • MEMS部品等に適用
    MEMS:Micro Electro Mechanical Systems
  • 極小径エンドミル、ドリルによる精密加工
  • φ0.1mmエンドミルで実現したステンレス材への精密加工
被削材 ステンレス（SUS316）
穴寸法 φ0.05mm、深0.1mm
溝寸法 幅0.1mm、深0.2mm
使用工具 φ0.05mmドリル、φ0.1mmエンドミル
加工時間 15秒/1溝（幅0.2mm、深0.2mm、長さ9mm）

材質：石英ガラス

微細加工技術

  • 石英ガラスにダイヤモンド工具を用いた精密加工
被削材 石英ガラス
穴寸法 φ0.2mm、深0.2mm
溝寸法 幅0.2mm、深0.2mm

材質：マシナブルセラミック

微細加工技術

  • マシナブルセラミックに超硬工具を用いた精密加工
被削材 マシナブルセラミック
穴寸法 φ0.2mm、深0.2mm
溝寸法 幅0.2mm、深0.2mm

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