温度可変レーザ三次元測定機

高精度の先進機能を満載。半導体パッケージ、プリント基板、各種素材など温度変化による熱変形を非接触で精密に測定することができます。

高精度恒温チャンバ搭載。温度変化による試料片の熱変形量を精密に測定。Windows対応専用ソフトで、条件設定・測定・データ解析・ビジュアル表示も簡単操作。

恒温チャンバにより幅広い温度範囲、正確な温度制御を実現。

特長

1. 高精度恒温チャンバを搭載し、幅広い温度範囲と正確な温度精度を実現。
2. Window対応の充実した解析・集計機能を装備。
3. レーザーフォーカス変位計により高精度測定可能。

測定機仕様

• LS60シリーズ
• LS100シリーズ
• LS150シリーズ

各部詳細

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