LS60シリーズ仕様 | LS60-RT50 | LS60-MT50 | |
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恒温チャンバ | 最大試料寸法 | 50mm角 X H5mm | 50mm角 X H5mm |
測定温度範囲 | 室温〜+350℃ | -70℃〜+350℃ | |
温度保持精度 | ±0.3℃以内(試料台温度) | ||
ステージ部 | X軸ステージ | ストローク:60mm(1µm/Step) | |
Y軸ステージ | ストローク:60mm(1µm/Step) | ||
Z軸ステージ | ストローク:50mm(手動タイプ) | ||
回転ステージ | 微動範囲:±5°(手動タイプ) | ||
測定部 | 非接触変位計 | レーザーフォーカス変位計(半導体レーザー:クラス1) | |
測定範囲 | ±1.0mm | ||
測定分解能 | 0.2µm | ||
観察モニタ | 9インチ白黒モニタ(センサヘッド内臓CCDカメラ:倍率90倍) | ||
制御部 | パソコン | DOS/V互換機(17インチディスプレイ) | |
各種コントローラ | 温度・流量コントローラ,変位計コントローラ,ステージコントローラ | ||
温度取り込み | 温度取り込み3点 | ||
ソフトウエア | 構成 | 自動計測ソフト(LT8100+)及び画像解析ソフト(WinROOF) | |
自動計測ソフト | Surface(面),CrossLine(対角線),Interval測定機能 | ||
画像処理ソフト | 濃淡3D表示,OpenGL表示機能他,各種画像処理機能 | ||
解析機能 | 測定断面の高さ,幅,傾き補正,平面補正,オフセットなど | ||
標準装備 | 除振台(空気ばね式ディスクタイプ) | ||
オプション | 水循環システム | 10Lタンクとミニポンプの組み合わせ |
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